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MDX 系列
等離子發生器直流電源系統
產品特點
低儲能輸出，滅弧時間可調
低紋波
緊湊型設計
電壓、電流和功率調節模式
前面板和模擬接口控制
產品描述
作為一款重載工業設備，MDX 系列主要用于需要實現可靠、精密電源輸出的低功率應用。
精密的調節、卓越的滅弧性能和低儲能輸出，使 MDX 系列直流電源成為行業領先者。這些可靠耐用的電源適用于在真空環境中持續高強度的，普遍用作直流磁控濺射驅動。它們還提供精密調節，作為 RF 濺射和蝕刻系統的偏壓電源。該系列電源采用緊湊型設計，是實驗室系統的首選
產品應用
Deposition
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