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Cesar
射頻等離子體發生器
產品特點
緊湊的流線型設計和標準平臺封裝，易于更換
高效率 — 產生的熱量更少
RS-232、以太網和 Profibus 通信
有效的前面板配置，便捷的綜合操作菜單
CEX（相位同步）操作模式
產品描述
成熟可靠的 Cesar® 平臺可提供穩定的射頻功率，能夠承受等離子體工藝中最苛刻的工藝條件。該平臺可熟練地處理高負載失配情況，在額定反射功率下仍能保持完全正常工作。Cesar 射頻發生器具有高度直觀的操作菜單，可從大尺寸前面板 LCD 上操作，能提高效率并最大限度地降低培訓成本。
Cesar 射頻發生器提供多種可選型號（2、4、13.56、27.12 和 40.68 MHz；0.3 kW 至 5 kW），采用優質部件制造，實現最大可靠性和生產率。
產品應用
蝕刻
沉積
半導體制造
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